شبیه سازی و ساخت تفنگ الکترونی برای استفاده در طرح-نگاریِ پرتو الکترونی
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شیراز - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
- نویسنده محمد همایون
- استاد راهنما محمد حسین شیخی حبیب اله عبیری
- سال انتشار 1393
چکیده
طرح نگاری در ابعاد نانومتری یکی از گلوگاه های اصلی فناوری الکترونیک است که در ساخت مدارهای مجتمع کاربرد فراوانی دارد. گرچه سرعت طرح نگار الکترونی در مقایسه با طرح نگار نوری پایین تر است، اما این روش از چند جهت اهمیت دارد: وضوح بسیار بالا، سادگی نسبی، قابلیت تبدیل شدن به میکروسکوپ الکترونی روبشی، امکان ساخت ماسک برای طرح نگار نوری، کاهش هزینه ساخت و در نتیجه موازی سازی فرآیند. در این پایان نامه تمرکز روی طرح نگار مینیاتوری با المان های الکترواستاتیک بوده است؛
منابع مشابه
طراحی و ساخت یک تفنگ الکترونی برای فرایند جوشکاری با پرتو الکترونی
فن آوری پرتوهای الکترونی کاربرد گسترده ای در تحقیقات علمی و صنایع مختلف دارد، از طیف سنج های الکترونی و میکروسکوپ های الکترونی گرفته تا استفاده های کارگاهی مانند جوشکاری، دریل کاری، برشکاری و غیره. با بکارگیری سامانه های اپتیک الکترونی می توان به الکترون ها شتاب داده و آن ها را در یک نقطه کوچک متمرکز نمود. اگر اینچنین پرتویی با چگالی توان بالا به ماده جامد برخورد کند، می تواند پیوند های ماده را...
شبیه‌سازی یک تفنگ الکترونی انرژی- پایین
تفنگ‌های الکترونی ابزارهای بسیار مهم و پرکاربرد در پراکندگی الکترون هستند. مدل‌های مختلف و متنوعی از این تفنگ‌ها طراحی شده است. در این مقاله با استفاده از نسخه‌ی 0/8 کد محاسباتی SIMION سه بُعدی، یک تفنگ الکترونی انرژی- پایین، مناسب انجام مطالعه‌های برخورد الکترون طراحی و شبیه‌سازی شده است. از این کد محاسباتی برای تصحیح ویژگی‌های کانونی عدسی‌های الکترواستاتیکی و محاسبه‌ی ولتاژهای اعمال شده به آن...
متن کاملتفنگ الکترونی با باریکه پهن: رویکردی تجربی
Electron curtain accelerator is a type of low-energy electron accelerator, which plays an important role in many different industries such as printing, coating and packing to promote product quality, while reducing volatile organic compounds for protecting global environment. Electron emitter is one of the main components of this type of accelerators. Multi-filament cathodes and grid structures...
متن کاملطراحی تفنگ الکترونی 50 میلی آمپری برای استفاده در یک شتاب‌دهنده‌ی دینامیترون
این مقاله طراحی تفنگ الکترونی گرمایونی با دو هندسهی متفاوت، کاتد مسطح و کاتد کروی را ارایه می‌دهد. هدف از انجام این پژوهش، پاسخ به این پرسش است که چه نوع تفنگ الکترونی برای شتابدهنده‌های الکترواستاتیک صنعتی مناسباند. در طراحی تفنگ‌های مورد نظر از نرم‌افزار سی اس تی استودیو استفاده شده است. مشخصههای مورد نظر در طراحی تفنگ گرمایونی مناسب، حداکثر جریان mA 50 و ولتاژ 5 تا kV10 است که بر...
متن کاملایجاد اتصال سرامیک به فلز در ساخت پوسته تفنگ الکترونی لامپهای موج رونده (TWT)
هدف از این تحقیق، ساخت پوسته تفنگ الکترونی لامپهای موج رونده حاو ی اتصالات سرامیک به فلز است. با توجه به هزینه بالای ساخت چنین قطعات اب بند به خلاء. کوچکترین اشتباه در این مسیر موجب از بین رفتن انرژی و هزینه زیادی خواهد گشت، بنابراین در ابتدا نمونههایی آزمایشی طبق استاندارد ASTM F19 برای بررسی شرایط اتصالدهی و رسیدن به خواص استحکامی و آب بند بودن به خلاء به کمک روش قالب گیری تزریقی ساخته شدن...
متن کاملتمرکز پرتو الکترونی در میدان مغناطیسی یک منبع تبخیر پرتو الکترونی خمیده
In this paper, the vacuum film deposition through electron beam evaporation has been reviewed and the effect of magnetic field on the operation of this system has been explained. Then, the magnetic field distribution due to magnetic components configuartion of a commercial evaporation source with 270-degree electron beam gun (manufactured by Sharif University Branch of ACECR), has been simulate...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شیراز - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023